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真空泵单位的换算与常用公式
添加时间:2012/9/10 17:34:36
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[table=98%][tr][td]真空泵单位的换算与常用公式[/td][/tr][tr][td][/td][/tr][tr][td]点击次数:20 发布时间:2012-9-5 16:09:47[/td][/tr][tr][td][table=98%][tr][td]真空单位换算:[/td][/tr][tr][td][table=533][tr][td=1,1,73]
[/td][td=1,1,57]

Pa[/align][/td][td=1,1,56][align=center]托
Torr[/align][/td][td=1,1,60][align=center]微米汞柱
μmHg[/align][/td][td=1,1,69][align=center]毫巴
mbar[/align][/td][td=1,1,99][align=center]大气压
atm[/align][/td][td=1,1,73][align=center]工程大气压
am[/align][/td][/tr][tr][td=1,1,73][align=center]1 Pa[/align][/td][td=1,1,57][align=center]1[/align][/td][td=1,1,56][align=center]7.5
×10-3[/align][/td][td=1,1,60][align=center]7.5[/align][/td][td=1,1,69][align=center]10-2[/align][/td][td=1,1,99][align=center]9.86923
×10-6[/align][/td][td=1,1,73][align=center]1.0197
×105[/align][/td][/tr][tr][td=1,1,73][align=center]1 Torr[/align][/td][td=1,1,57][align=center]133.32[/align][/td][td=1,1,56][align=center]1[/align][/td][td=1,1,60][align=center]103[/align][/td][td=1,1,69][align=center]1.3332[/align][/td][td=1,1,99][align=center]1.31579
×10-3[/align][/td][td=1,1,73][align=center]1.3595
×10-3[/align][/td][/tr][tr][td=1,1,73][align=center]1 μmHg[/align][/td][td=1,1,57][align=center]0.13332[/align][/td][td=1,1,56][align=center]10-3[/align][/td][td=1,1,60][align=center]1[/align][/td][td=1,1,69][align=center]1.3332
×10-3[/align][/td][td=1,1,99][align=center]1.31579
×10-6[/align][/td][td=1,1,73][align=center]1.3595
×10-6[/align][/td][/tr][tr][td=1,1,73][align=center]1 mbar[/align][/td][td=1,1,57][align=center]102[/align][/td][td=1,1,56][align=center]7.5
×10-1[/align][/td][td=1,1,60][align=center]7.5
×102[/align][/td][td=1,1,69][align=center]1[/align][/td][td=1,1,99][align=center]9.86923
×10-4[/align][/td][td=1,1,73][align=center]1.0197
×10-3[/align][/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]饱和水蒸汽的压力与温度的关系:[/td][/tr][tr][td][table=98%][tr][td=1,1,123][align=center]温度℃ 
水蒸气压力 MPa 
相应真空度 MPa[/align][/td][td=1,1,57][align=center]22 
0.00264 
0.09869[/align][/td][td=1,1,57][align=center]24 
0.00298 
0.09835[/align][/td][td=1,1,57][align=center]26 
0.00336 
0.09797[/align][/td][td=1,1,57][align=center]28 
0.00378 
0.09755[/align][/td][td=1,1,57][align=center]30 
0.00424 
0.09709[/align][/td][td=1,1,57][align=center]32 
0.00475 
0.09658[/align][/td][td=1,1,57][align=center]34 
0.00532 
0.09601[/align][/td][td=1,1,57][align=center]36 
0.00594 
0.09539[/align][/td][td=1,1,57][align=center]38 
0.00662 
0.09471[/align][/td][td=1,1,56][align=center]40 
0.00738 
0.09395[/align][/td][/tr][tr][td=1,1,123][align=center]温度℃ 
水蒸气压力 MPa 
相应真空度 MPa[/align][/td][td=1,1,57][align=center]42 
0.00820 
0.09313[/align][/td][td=1,1,57][align=center]44 
0.00910 
0.09223[/align][/td][td=1,1,57][align=center]46 
0.01009 
0.09124[/align][/td][td=1,1,57][align=center]48 
0.01116 
0.09017[/align][/td][td=1,1,57][align=center]50 
0.01234 
0.08899[/align][/td][td=1,1,57][align=center]52 
0.01361 
0.08772[/align][/td][td=1,1,57][align=center]54 
0.01500 
0.08633[/align][/td][td=1,1,57][align=center]56 
0.01651 
0.08482[/align][/td][td=1,1,57][align=center]58 
0.01815 
0.08318[/align][/td][td=1,1,56][align=center]60 
0.01992 
0.08141[/align][/td][/tr][tr][td=1,1,123][align=center]温度℃ 
水蒸气压力 MPa 
相应真空度 MPa[/align][/td][td=1,1,57][align=center]62 
0.02184 
0.07949[/align][/td][td=1,1,57][align=center]64 
0.02391 
0.07742[/align][/td][td=1,1,57][align=center]66 
0.02615 
0.07518[/align][/td][td=1,1,57][align=center]68 
0.02856 
0.07277[/align][/td][td=1,1,57][align=center]70 
0.03116 
0.07017[/align][/td][td=1,1,57][align=center]72 
0.03396 
0.06737[/align][/td][td=1,1,57][align=center]74 
0.03696 
0.06437[/align][/td][td=1,1,57][align=center]76 
0.04019 
0.06114[/align][/td][td=1,1,57][align=center]78 
0.04365 
0.05768[/align][/td][td=1,1,56][align=center]80 
0.04736 
0.05397[/align][/td][/tr][tr][td=1,1,123][align=center]温度℃ 
水蒸气压力 MPa 
相应真空度 MPa[/align][/td][td=1,1,57][align=center]82 
0.05133 
0.05000[/align][/td][td=1,1,57][align=center]84 
0.05557 
0.04576[/align][/td][td=1,1,57][align=center]86 
0.06011 
0.04122[/align][/td][td=1,1,57][align=center]88 
0.06495 
0.03638[/align][/td][td=1,1,57][align=center]90 
0.07011 
0.03122[/align][/td][td=1,1,57][align=center]92 
0.07561 
0.02572[/align][/td][td=1,1,57][align=center]94 
0.08146 
0.01987[/align][/td][td=1,1,57][align=center]96 
0.08769 
0.01364[/align][/td][td=1,1,57][align=center]98 
0.09430 
0.00703[/align][/td][td=1,1,56][align=center]100 
0.10133 
0[/align][/td][/tr][tr][td=1,1,123][align=center]温度℃ 
水蒸气压力 MPa[/align][/td][td=1,1,57][align=center]102 
0.10878[/align][/td][td=1,1,57][align=center]104 
0.11668[/align][/td][td=1,1,57][align=center]106 
0.12504[/align][/td][td=1,1,57][align=center]108 
0.13390[/align][/td][td=1,1,57][align=center]110 
0.14327[/align][/td][td=1,1,57][align=center]112 
0.15316[/align][/td][td=1,1,57][align=center]114 
0.16362[/align][/td][td=1,1,57][align=center]116 
0.17465[/align][/td][td=1,1,57][align=center]118 
0.18628[/align][/td][td=1,1,56][align=center]120 
0.19854[/align][/td][/tr][tr][td=1,1,123][align=center]温度℃ 
水蒸气压力 MPa[/align][/td][td=1,1,57][align=center]122 
0.21145[/align][/td][td=1,1,57][align=center]124 
0.22504[/align][/td][td=1,1,57][align=center]126 
0.23933[/align][/td][td=1,1,57][align=center]128 
0.25435[/align][/td][td=1,1,57][align=center]130 
0.27013[/align][/td][td=1,1,57][align=center]132 
0.27831[/align][/td][td=1,1,57][align=center]134 
0.30407[/align][/td][td=1,1,57][align=center]136 
0.32229[/align][/td][td=1,1,57][align=center]138 
0.34138[/align][/td][td=1,1,56][align=center>140 
0.36138

[/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
真空计算常用的公式:[/td][/tr][tr][td]1、玻义尔定律:
体积V,压强P,P·V=常数(一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。 
即P1/P2=V2/V1) 

2、盖·吕萨克定律
当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比:(V1/V2=T1/T2=常数) 
当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高(或P降低)1℃,则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。 

3、查理定律: 
当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其他绝对温度T成正比,即:P1/P2=T1/T2 
在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高(或降低)1℃,它的压强比原来增加(或减少)1/273。 

4、平均自由程: 
λ=(5×10-3)/P (cm) 

5、抽速: 
S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/P 
Q=流量(托·升/秒) P=压强(托) V=体积(升) t=时间(秒) 

6、通导: C=Q/(P2-P1) (升/秒) 

7、真空抽气时间: 
对于从大气压到1托抽气时间计算式: t=8V/S (经验公式) 
(V为体积,S为抽气速率,通常t在5~10分钟内选择。) 

8、维持泵选择: 
S维=S前/10 

9、扩散泵抽速估算: 
S=3D2 (D=直径cm) 

10、罗茨泵的前级抽速: 
S=(0.1~0.2)S罗 (l/s) 

11、漏率: 
Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1) 
Q漏-系统漏率(mmHg·l/s) V-系统容积(l) 
P1-真空泵停止时系统中压强(mmHg) 
P2-真空室经过时间t后达到的压强(mmHg) 
t-压强从P1升到P2经过的时间(s) 

12、粗抽泵的抽速选择: 
S=Q1/P预 (l/s) 
S=2.3V·lg(Pa/P预)/t 
S-机械泵有效抽速Q1-真空系统漏气率(托·升/秒) 
P预-需要达到的预真空度(托)V-真空系统容积(升) 
t-达到P预时所需要的时间 Pa-大气压值(托) 

13、前级泵抽速选择: 
排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有: 
PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/Pn 
Sg-前级泵的有效抽速(l/s)Pn-主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s) 
Pg-真空室最高工作压强(托)S-主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s) 

14、扩散泵抽速计算公式: 
S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒) 
式中:S-被试泵的抽气速率(l/s) n-滴管内油柱上升格数(格) 
t-油柱上升n格所需要的时间(秒) P-在泵口附近测得的压强(托) 
K-滴管系数(托·升/秒) K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt 
其中V0-滴管和真空胶管的原始容积(升) L-滴管刻度部分的长度(mm) 
n-滴管刻度部分的格数(格) Υ0-油的比重(克/厘米3) 
Υm-汞的比重(克/厘米3) Pa-当地大气压强(托) 
△Vt-滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格) 

15、旋片的几何抽速计算公式: 
S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s) 
式中:Z为旋片数,n为转速(转/分),L为泵腔长度,D为泵腔直径,d为转子直径(cm),Kv为容积利用系数(一般取95%)。 

 
[/td][/tr][/table]
[/td][/tr][tr][td] [/td][/tr][/table]