超纯水制备的发展进程 
    早期超纯水的需求主要是来自发电、医药化工、造纸等行业，水质要求相对较低，其制备只要采用离子交换，该方法的主要缺点是化学药剂再生，既麻烦又不经济，而且由于强行树脂对一般有机分子除去效果差，出水中TOC含量高，随着半导体工业发展，对超纯水质量要求提高，从而大大的推动了纯水技术的发展，到了上个世纪末，膜技术得到了广泛的应用，微滤，超滤，电渗析和反渗透等先进的水处理技术得到了飞速的发展，膜法制备纯水取代了传统的离子交换器系统，解决了TOC问题，满足了电子行业对纯水质量的要求 。
    超纯水制备工艺 
    1、  传统超纯水制备工艺流程： 
    原水—多介质过滤器—活性炭过滤器—一级除盐—混床—超纯水 
    2、  膜法超纯水制备工艺流程： 
    原水—超滤—反渗透—EDI—超纯水 
    在膜法工艺中，超滤，微滤替代澄清，石英砂过滤器，活性炭过滤器，除去水中的悬浮物胶体和有机物，降低浊度，SDI，COD等，可以实现反渗透装置对污水回用的安全，高效运行，以反渗透替代离子交换器脱盐，进一步除去有机物，胶体，细菌等杂志，可以保证反渗透出水满足EDI进水的要求，以EDI代替混床深度脱盐，利用电而不是酸碱对树脂再生，避免了二次污染。 
    原水的预处理 
    反渗透因为膜材料及元件的关系，对进水水质有一定的要求，预处理解决的问题是堵塞，结垢，污染和破坏，堵塞是指水中的颗粒，悬浮物，胶体，铁氧化物沉淀等堵塞膜元件的流道，结垢是指难溶盐在浓水侧浓缩厚结晶析出，可预先除去或加阻垢剂。污染是指油脂，有机物吸附在膜的表面，微生物繁殖，胶体吸附等，采用杀菌，氧化破坏，絮凝过滤，活性炭吸附等办法解决，破坏是指自由氧，臭氧等氧化剂破坏膜材料，采用活性炭吸附或者加还原剂 。
    1、传统预处理方法 
    多介质过滤器对有机物除去主要是依靠絮凝作用加以捕获，只对颗粒状或胶体状的大分子物质有效，对溶解状态的天然有机物和许多工业有机污染物无效。　活性炭吸附可以通过吸附作用，部分除去小分子的有机物，活性炭对于COD的除去率在40-90%。活性炭不作为过滤截留用。 
    2、膜法预处理 
    膜法预处理为下游的拖延系统提供可靠的进水水质保证。 
    过滤是一种以筛分为分离原理，以压力位推动力的膜分离过程，过滤精度在0.005um-0.01um范围，可以有效除去水中的微粒，胶体，细菌以及高分子有机物等，超滤过程无相转化，具有良好的耐温，难酸碱和耐氧化性能。超滤采用不同的截留分子量的膜材料及工艺设计，可以适应各种不同水质条件及分离功能。 
    反渗透 
    反渗透简称RO，主要是高压泵与反渗透膜组成，在高压的情况下，除去除水分子以外的水中的其他物质，矿物质，有机物，微生物等，并被高压水流冲击渗透到另一面的水即使安全，卫生，纯净的水。利用反渗透的分离特征可以有效除去水中的溶解盐，胶体，有机物，细菌等杂质，反渗透具有能耗低，无污染，工艺先进，操作简单等优点，反渗透技术可广泛应用于过滤补给水的软化除盐，海水，苦咸水的淡化，饮用纯净水的制备，电子工业超纯水的制备，化学，食品工业中的分离，浓缩及回收，以及其他工艺用水等。 
    EDI技术 
    EDI特征是：将电渗析技术和离子交换技术相融合，无需酸碱而连续制取高品质的纯水，利用电而不是酸碱对树脂进行再生，简单的说，DEI是一种不消耗酸碱而制取纯水的新技术，俗称电混床，填充床，电渗析，DEI具有可连续生产连续再生，产水品质稳定，运行费用低，操作管理方便，占地面积小等优点，同时无废水，化学污染排放，有利于节水和环保，也节省了污水处理投资和水处理费用。 
    结论 
    利用超滤，反渗透，EDI等膜元件组合集成的膜法工艺，构成了没有酸碱的脱盐系统，其中超滤系统作为预处理，实现了反渗透系统的高效，安全运行，使用高脱盐率反渗透膜处理，世纪反渗透产水水质满足EDI的进水标准。EDI膜元件的模块化设计，可方便使组合任意产水规模，彻底避免酸碱，缩小占地空间，适用各种用途的脱盐系统，使水处理技术的发展上升到了新的高度。