超纯水是水中电解质几乎全部去除，水中不溶解的胶体物质、微生物、微粒、有机物、溶解气体降至很低程度，都是经过膜过滤或混合床等终端精处理的水。

目前，我国电子工业部把工业超纯水水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。目前，制备超纯水的方法通常采用反渗透，去离子或电去离子（EDI）等工艺。

在水质要求达10MΩ.cm以上，通常采用不同的工艺进行组合搭配的方法来制取，例如采用反渗透加去离子，反渗透加EDI等。超纯水已被广泛运用于电子、电力，化工，电镀，锅炉补给，实验室及医药等众多领域。

超纯水设备，EDI超纯水设备最后一道处理工艺后，半导体电子光伏产业超纯水设备常用工艺：

采用反渗透加EDI电子去离子方法：源水箱→源水增压泵→多介质过滤器→活性碳过滤器→阳树脂软化器→精密过滤器→一级RO反渗透纯水系统→中间水箱（加PH调节）→增压泵→二级反渗透→二级反渗透水箱→增压泵→EDI装置（电去离子）→超纯水箱→变频水泵→精混床处理→紫外线杀菌器→微滤器→用水点

紫外线用起到杀菌灭菌效果，细菌的残留物需微孔过滤器滤掉。

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