超纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。

　　超纯水：是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm

　　超纯水：是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，一般不可直接饮用，对身体有害，会析出人体中很多离子。

　　超纯水，目前的主要工艺流程
　　1.预处理----复床 ----混床---抛光树脂
　　2.预处理----反渗透---混床---抛光树脂
　　3.预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂
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　　中国国家实验室分析用水标准（GB6682-92）《分析实验室用水规格和实验方法》：
　　指标名称 一级水 二级水 三级水
　　1级水>10MΩ；2级水>1MΩ；3级水>0.2MΩ
　　PH值范围（25℃） - - - - 5.0-7.5
　　比电阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2
　　电导率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5
　　可氧化物[以O计]mg/L -- 0.08 0.40
　　吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 --
　　二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 --
　　蒸发残渣（mg/L） -- 1.0 2.0

　　纯水，高纯水，超纯水的区别
　　纯水是指既将水中易去除的强电介质去除，又将水中难以除去的硅酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水。纯水的含盐量在1.0mg/L以下,电导率小于50μs/cm。
　　高纯水是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。高纯水的含盐量在0. 3mg/L以下,电导率小于0. 2μs/cm。
　　超纯水是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。