电渗析（EDI）是一项结合了离子交换树脂和离子选择性通透膜，并结合直流电去除水中离子化杂质的技术。该项技术的发展克服了离子交换树脂的局限性，特别是离子交换柱耗竭时离子杂质的释放及重填或再生离子交换柱的工作。
水通过一个或多个在阳离子或阴离子选择膜之间填满离子交换树脂的管腔，在电场的作用下，离子在离子交换树脂间向管腔的两侧移动并进入另外的管腔，这个过程中也会电解产生维持树脂处于再生状态所需的H+和OH- 。流向两侧独立管腔的离子被水冲刷掉。
通常，EDI的产成水电阻率可达到5-17 MΩ·cm（在25℃时），总有机炭含量（TOC）低于20ppb。由于系统内化学和电环境的作用抑制微生物生长，使细菌水平达到最小化。一般来说，EDI不能产生电阻率18.2 MΩ·cm的超纯水。必须在EDI之后放置离子交换柱才可生产18.2 MΩ·cm的超纯水，并且因为水中只有极少数量的离子存在，所以延长了离子交换柱的使用寿命。
蒸馏
蒸馏法是通过改变水的形态，从液态到气态再回到液态，将水和污染物分离。每一个转换过程都为纯水与污染物的分离提供了机会。理论上，除蒸汽压力与水接近的物质和共沸化合物，蒸馏法能去除所有种类的水中污染物。
像RO一样，蒸馏法生产纯水的速度较慢，所以蒸馏水必须先储存起来以备日后使用。
蒸馏水器非常耗电，每生产1升纯水通常耗费1KW电力。依据蒸馏水器的不同设计，蒸馏水的电阻率大约能达到1 MΩ·cm，因为空气中的CO2会溶入蒸馏水中迅速降低其电导率。新鲜蒸馏水是无菌的，但如果保存不当，一段时间后就不再是无菌的了。
