中国实验室用水国家标准GB6682-2000
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名 称 |
一 级 |
二 级 |
三 级 |
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PH值范围（25℃） |
- |
- |
5.0-7.5 |
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电导率（25℃）,mS/m ≤ |
0.01 |
0.10 |
0.50 |
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比电阻（M Ω .cm.25℃）≥ |
10 |
1 |
0.2 |
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可氧化物质[以（0）计]，mg/L |
- |
0.08 |
0.40 |
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< 吸光度（ 254nm,1cm 光程）≤ |
0.001 |
0.01 |
- |
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蒸发残渣（105±2℃），mg/L≤ |
- |
1.0 |
2.0 |
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可容性硅 [以（sio 2 ）计] ，mg/L < |
0.01 |
0.02 |
- |
中国电子行业超纯水国家标准GB/T1146.1-1997
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级别
指标 |
EW-I |
EW-II |
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电阻率MΩ.cm（25℃） |
18以上（95%时间）不低于17 |
15（95%时间）不低于13 |
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硅≤ μ g/l |
2 |
10 |
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> 1 μ M 微粒数≤个/ml |
0.1 |
5 |
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细菌个数≤个/ml |
0.01 |
0.1 |
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铜≤ μ g/l |
0.2 |
1 |
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锌≤ μ g/l |
0.2 |
1 |
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镍≤ μ g/l |
0.1 |
1 |
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钠≤ μ g/l |
0.5 |
2 |
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钾≤ μ g/l |
0.5 |
2 |
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氯≤ μ g/l |
1 |
1 |
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硝酸根≤ μ g/l |
1 |
1 |
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磷酸根≤ μ g/l |
1 |
1 |
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硫酸根≤ μ g/l |
1 |
1 |
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总有机碳≤ μ g/l |
20 |
100 |