中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997
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附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997
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电阻率
25℃
MΩ*cm |
硅
≤μg/L |
铜
≤μg/L |
锌
≤μg/L |
镍
≤μg/L |
钠
≤μg/L |
钾
≤μg/L |
氯
≤μg/L |
>1μm颗粒
≤个/ml |
细菌
≤个/ml |
硝酸根
≤g/L |
磷酸根
≤μg/L |
硫酸根
≤μg/L |
TOC
≤μg/L |
| EW-I |
≥18* |
2 |
0.2 |
0.2 |
0.1 |
0.5 |
0.5 |
1 |
0.1 |
0.01 |
1 |
1 |
1 |
20 |
| EW-II |
≥15 ** |
10 |
0 |
0 |
1 |
2 |
2 |
1 |
5 |
0.1 |
1 |
1 |
1 |
100 |
注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）
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中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准
| 指标\级别 |
EW－Ⅰ |
EW－Ⅱ |
EW－Ⅲ |
EW-Ⅳ |
| 电阻率 MΩ，cm(25℃) |
18以上，（95％时间）不低于17 |
15，（95％时间）不低于13 |
12.0 |
0.5 |
| 全硅，最大值,μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
| ＞1μm微粒数，最大值，个/mL |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
| 细菌个数，最大值，个/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
| 铜，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
| 锌，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
| 镍，最大值，μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
| 钠，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
| 钾，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
| 氯，最大值，μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
| 硝酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
| 磷酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
| 硫酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
| 总有机酸，最大值，μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 | |
作者：/发布日期：2009-10-10 9:25:00