中国电子行业超纯水标准
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指 标 名 称 |
一 级 水（EW-1） |
二 级 水（EW-2） |
| 电阻率MΩ.CM. （25℃） |
18(95‰时间)不低于17 |
15(95‰时间)不低于13 |
| 硅 ≤μg/L |
2 |
10 |
| ＞1μm 微粒数 |
0.1 |
5 |
| 细菌个数 ≤个/ml |
0.01 |
0.1 |
| 铜 ≤μg/L |
0.2 |
1 |
| 锌 ≤μg/L |
0.2 |
1 |
| 镍 ≤μg/L |
0.1 |
1 |
| 钠 ≤μg/L |
0.5 |
2 |
| 钾 ≤μg/L |
0.5 |
2 |
| 氯 ≤μg/L |
1 |
1 |
| 硝酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
| 磷酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
| 硫酸根 ≤μg/L |
1 |
1 |
| 总有机碳 ≤μg/L |
20 |
100 |
作者：大河水网/发布日期：2009/10/20 13:53:00