经过20多年的研究，超临界水催化氧化已成功用于有毒废水、难降解印染废水的处理。目前已有报道印染废水中含有的苯胺、硝基苯、邻苯二甲酸类等含有苯环、胺基、偶氮等基团的有毒有机污染物的催化超临界水处理文献。Savage等以CuO为催化剂，对苯酚进行了超临界水氧化机理研究，表明催化剂提高了苯酚的转化率和二氧化碳的产量，催化剂的添加增大了苯酚自由基的生成速率，从而提高了苯酚的转化率。郭小华等利用Mn2+为催化剂、H2O2为氧化剂进行了催化超临界水氧化偏二甲肼实验。结果表明，在超临界水中偏二甲肼能被有效去除。

偏二甲肼的去除率随反应温度和压力的升高、停留时间的延长和Mn2+浓度增大而提高。当Mn2+浓度为30mg/L时，偏二甲肼的去除率与无催化剂时相比有了较大的提高。当处理条件为：30MPa、500℃、3.6s和Mn2+浓度为30mg/L时，COD去除率高达99.6%。葛红光等以CuO/γ-Al2O3和MnO2/Al2O3为催化剂、H2O2为氧化剂，在一个连续流固定床反应器中进行了超临界水氧化对氨基苯酚实验。实验结果表明，CuO和MnO催化剂对于对氨基苯酚的氧化降解具有显著的促进作用对氨基苯酚的去除率随反应温度和压力的升高、停留时间的延长而提高，在24～26MPa和400～450℃条件下，数秒钟内COD去除率可达到99%以上，催化剂CuO/γ-Al2O3的催化效果优于MnO2/Al2O3。证明了催化超临界水氧化技术的高效性。
    CSCWO技术能彻底矿化有机物，但它的处理过程还是存在一些技术难题，如高温、高压的苛刻反应条件，反应过程中对反应器的强腐蚀性、无机盐的堵塞问题及运行费用等问题都是阻碍超临界水氧化技术工业化的挑战性问题。目前，SCWO在美国、德国、瑞士、日本等国已有工业化的处理装置，且日处理能力可观。而SCWO在我国起步晚还处于实验阶段。为了克服SCWO的这些难题，目前的研究工作主要集中在催化剂的选择以及设备防腐蚀等方面。

随着超临界水氧化技术研究的深入，催化剂和高温、高压条件下耐腐蚀新材料的开发以及工艺系统的优化设计，会使超临界水催化氧化技术的优势更加明显，它将成为未来污水处理技术的主流。