1、 范围
GB/T 11446.1-2013 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。
本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。
2、水质标准
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项目
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技术指标
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EW-Ⅰ
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EW-Ⅱ
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EW-Ⅲ
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EW-Ⅳ
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电阻率（25℃）/
MΩ·cm
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≥18
（5%时间不低于17）
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≥15
（5%时间不低于13）
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≥12
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≥0.5
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全硅/（μg/L）
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≤2
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≤10
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≤50
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≤1000
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微粒数/
（个/L）
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0.05μm~0.1μm
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500
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-
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-
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-
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0.1μm~0.2μm
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300
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-
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-
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-
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0.2μm~0.3μm
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50
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-
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-
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-
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0.3μm~0.5μm
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20
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-
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-
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-
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＞0.5μm
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4
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-
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-
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-
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细菌个数/（个/mL）
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≤0.01
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≤0.1
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≤10
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≤100
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铜/（μg/L）
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≤0.2
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≤1
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≤2
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≤500
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锌/（μg/L）
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≤0.2
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≤1
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≤5
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≤500
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镍/（μg/L）
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≤0.1
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≤1
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≤2
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≤500
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钠/（μg/L）
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≤0.5
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≤2
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≤5
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≤1000
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钾/（μg/L）
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≤0.5
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≤2
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≤5
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≤500
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铁/（μg/L）
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≤0.1
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-
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-
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-
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铅/（μg/L）
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≤0.1
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-
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-
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-
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氟/（μg/L）
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≤1
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-
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-
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-
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氯/（μg/L）
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≤1
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≤1
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≤10
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≤1000
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亚硝酸根/（μg/L）
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≤1
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-
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-
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-
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溴/（μg/L）
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≤1
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-
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-
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-
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硝酸根/（μg/L）
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≤1
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≤1
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≤5
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≤500
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磷酸根/（μg/L）
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≤1
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≤1
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≤5
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≤500
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3、水质检验
1电阻率
电子级水的电阻率按GB/T 11446.4-013进行测定。
2全硅含量（以二氧化硅计）
电子级水全硅（以二氧化硅计）含量按GB/T 11446.6-2013进行测定。
3微粒数
电子级水中微粒数按GB/T 11446.9-2013进行测定。
4细菌总数
电子级水中细菌总数按GB/T 11446.10-2013进行测定。
5痕量金属含量
电子级水中痕量金属的含量按GB/T 11446.5-2013进行测定。
6氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量
电子级水中氟离子、氯离子、亚硝酸根离子、溴离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量按GB/T 11446.7-2013进行测定。
7总有机碳含量
电子级水中总有机碳含量按GB/T 11446.8-2013进行测定。