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电子超纯水工艺流程

    电子工业用的超纯水广泛用于生产计算机硬盘、集成电路芯片、半导体、显像管、液晶显示器、线路板等用的纯水,对水的纯度要求较高,对出水电阻率的要求达到上(MΩ.cm)级,用预RO反渗透作为一级处理,再通过混床进行二次处理,产品水符合电子行业用水相关标准。控制部份采用PLC控制,可实现自动起停,加药,及冲洗,自动监测各种运行参数,并可实现运行参数的存储和打印

    典型工艺:原水→预处理→反渗透→EDI(或混床)→精密过滤→用水点
    1   预处理-反渗透-中间水箱-水泵-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象
    2   预处理-一级反渗透-加药装置( PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象
    3   预处理-反渗透-中间水箱-水泵- EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象
    4   预处理-反渗透-中间水箱-水泵- EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象 

应用场合:

   5   半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
   6   超纯材料和超纯化学试剂;
   7   实验室和中试车间
   8   汽车、家电表面抛光处理;
   9   其他高科技精微产品。
   (水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)

    运行参数:

    产水量:0.5~100m3/h﹒台

    纯度:16~18MΩ.Cm

    脱盐率:反渗透系统98%

    TOC:<10ppb

    操作压力:1~1.6Mpa

    细菌数:〈1个/升

    回收率:50%-80%

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作者:/发布日期:2009/10/13 15:10:00
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